旋片式真空泵的變形型式很多，把很多單個旋片式真空泵組合在一起，可做成多室旋片式真空泵，把旋片式真空泵與其他泵組合在一起可形成組合泵或泵組(如機械泵-擴散泵抽氣機組)。側(cè)偏心泵是將旋片式真空泵結(jié)構(gòu)加以改進(jìn)，從而提高了原設(shè)計型式的性能。它也可用于多位同時排氣的裝置上。它的使用范圍與其他旋片式真空泵相同。    

一、多室旋片式真空菜

一般電子管等電真空器件排氣時多使用圓排氣車，其中機械泵多用十室泵，即多室旋片式真空泵，以進(jìn)行多位獨立抽氣。

1.多室旋片式真空泵的工作原理

多室旋片式真空泵與單級或雙級旋片式真空泵的工作原理是一樣的。不同點在于:它是在一個共同基體內(nèi)裝有由同一電機拖動的若干個獨立工作室(單級旋片式真空泵)，每一個獨立工作室在整個抽氣過程中能互不干擾地直接對一個容器進(jìn)行抽氣。所以稱它為多室旋片式真空泵。

2.多室旋片式真空泵的構(gòu)造

它是由箱體和浸在箱體內(nèi)各個獨立工作室兩個主要部分所組成。這些獨立工作室就是一個單級旋片式真空泵，它是由泵體(工作室腔)、轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧、過濾器(網(wǎng))、排氣閥等主要部件所組成。這些獨立工作室串聯(lián)成泵組，并用螺釘緊固于箱體內(nèi)的機座上。

二、側(cè)偏心式旋片式真空泵

前面已多處提及旋片式真空泵中的側(cè)偏心式泵，因它是南光機器廠設(shè)計制造的一種較新型旋片式真空泵。它的優(yōu)點在于綜合技術(shù)指標(biāo)比較高，在某些方面，如比功率、比重量、噴油、耗油量等超

過了同類產(chǎn)品，且超過了一些資本主義國家的同類產(chǎn)品。

三、旋片式真空泵的改進(jìn)趨勢

旋片式真空泵與其他類型的機械泵比雖有很多優(yōu)點，但缺點也不少，特別是距生產(chǎn)實踐要求還相差很遠(yuǎn)。例如在耐腐蝕、耐磨、體積小、重量輕、噪音低、振動小，自動防止油的返流、去除油蒸氣返流等等方面，均需努力。為適應(yīng)儀器發(fā)展需要18升/秒以下的小旋片式真空泵已向小型化儀器化發(fā)展了。    

老式的機械泵，在抽氣時，隨著真空度的提高，抽速均下降很多。近年來，由于降低了油蒸氣的返流，同時采用了一些新技術(shù)(如在旋片式真空泵中采用三旋片的結(jié)構(gòu)等)，因而使泵的抽速曲線(水平線)幾乎延伸到1x10-3托。

在清潔真空研究方面，為了避免油蒸氣的返流，有人提出旋片式真空泵的高真空級密封采用固體潤滑材料(干級)，而以一般的油封旋片式真空泵作前級(油封級)的兩級泵。    

當(dāng)然，更徹底的解決油蒸氣返流還是設(shè)法研制無油機械真空泵。國內(nèi)外已研究了多年，研制出了不少種類型。但能從大氣開始抽氣、且能連續(xù)工作而與現(xiàn)有油封機械泵性能相似的泵，仍在研制中，無正式產(chǎn)品。相信，隨著真空技術(shù)的進(jìn)步，性能好的、能適應(yīng)多種作業(yè)要求的旋片式真空泵定將出現(xiàn)。