在真空裝置自動控制中，往往要進(jìn)行真空測量，由于真空裝置種類繁多、工作壓力范圍也不盡相同，因此，從100000-0.00001的各個真空區(qū)域的真空測量均會遇到。通常使用的真空計有電阻真空計、熱偶真空計、電容薄膜真空計、電離真空計、超高真空計等。為了拓展真空計的功能，真空儀器廠家還生產(chǎn)包括遙控遙測、模擬量輸出、RS - 232C等通信接口、壓力調(diào)節(jié)等功能模塊板供用戶選配。因此，一個配置齊全的真空計，不僅能進(jìn)行真空度測量、數(shù)字顯示、量程自動切換、誤差自動修正，而且能在壓力設(shè)定點(diǎn)發(fā)出控制信號去進(jìn)行壓力控制，按設(shè)定壓力值進(jìn)行壓力自動調(diào)節(jié)，還能將測量值打印記錄，并與上位機(jī)進(jìn)行通信聯(lián)系，甚至還能進(jìn)行遠(yuǎn)距離真空測童與控制。
(1)壓力控制儀
在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗中，往往希望真空裝置的真空室中的真空度能按真空工藝的要求，維持在某一給定值上。這種要求通�？梢酝ㄟ^手動調(diào)節(jié)真空微調(diào)閥來完成，倘若希望自動地完成壓力調(diào)節(jié)，就要借助于壓力控制儀來完成。
壓力控制儀通常由真空測量單元(真空計)、壓力自動調(diào)節(jié)電路和真空調(diào)節(jié)閥組成，它是集真空測量與壓力調(diào)節(jié)于一體的自動控制儀器。國產(chǎn)壓力控制儀主要有HY, ZDC, SYK, DL,ZZK等系列產(chǎn)品。
表征壓力控制儀的主要技術(shù)指標(biāo)是壓力控制范圍、控制精度、流量控制范圍、反應(yīng)時間等。它取決于其配用的真空規(guī)管、控制電路及真空調(diào)節(jié)閥的性能。
壓力控制儀廣泛應(yīng)用于離子注人、離子束刻蝕、真空鍍膜、激光技術(shù)及半導(dǎo)體材料等領(lǐng)域，其使用的環(huán)境條件與同類型的真空計大致相同。 |
