無(wú)油真空泵是現(xiàn)在各行業(yè)中發(fā)展的一種趨勢(shì)，雖然價(jià)格稍微高些但后期的回報(bào)是非常可觀的，上海飛魯真空泵廠生產(chǎn)的無(wú)油渦旋真空泵獲得了國(guó)家專(zhuān)利，真空度能達(dá)到8pa~10pa，是國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的最佳選擇。
目前半導(dǎo)體、平板顯示、太陽(yáng)能光伏電池以及化學(xué)工業(yè)的發(fā)展極為迅速，對(duì)真空獲得技術(shù)提出了新的十分苛刻的要求。
要求抽除有害氣體，即有毒、易燃、易爆及腐蝕性氣體。在抽氣過(guò)程中，這些氣體會(huì)與泵油相混合，而導(dǎo)致泵油變質(zhì)劣化。另外在工藝過(guò)程中，其化學(xué)反應(yīng)所產(chǎn)生的生成物及顆粒副產(chǎn)品，也會(huì)給泵的正常工作帶來(lái)不利影響。所以要求真空行業(yè)提供能順利抽除有害氣體和顆粒的無(wú)油干式的真空系統(tǒng)。
在半導(dǎo)體、平板顯示等領(lǐng)域，傳統(tǒng)的有油真空系統(tǒng)已經(jīng)不允許使用，因?yàn)檫@種系統(tǒng)所產(chǎn)生的碳?xì)浠衔飼?huì)嚴(yán)重影響產(chǎn)品最終的性能質(zhì)量，所以要求真空行業(yè)能提供可獲得清潔無(wú)油的真空產(chǎn)品。
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